薄膜技術及分析
Thin Film Technology and Analysis
學期
106-2
學分
0
學分
當期課號
5016
永久課號
IEE5541
開課單位
電子研究所
授課教師
曾俊元
校區
光復
類別
選修
上課時間表
| 節 | 週五 |
|---|---|
2 09:00–09:50 | 薄膜技術及分析 ED201（光復） 3 節連堂 |
3 10:10–11:00 | |
4 11:10–12:00 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
概述
本課程主要為薄膜基本理論與技術及表面分析之基礎課程,結合半導體薄膜製程技術,並特別加入奈米材料表面處理的應用,期望加強學生在薄膜技術與表面檢測方面之專業學識,使學生能建立薄膜基礎科學之瞭解與薄膜製程相關的專業技術
先修科目
材料科學導論
備註
無備註
教學方式
教師未提供此項資料
評分方式
期中考 40% 期末考 40% 平時成績 20%
課程大綱
教師未提供此項資料
週次計畫
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | Chapter 1. Thin Film Deposition and Layered Structure |
| 第 2 週 | Chapter 2. Surface Energies |
| 第 3 週 | Chapter 3. Diffusion in Solids |
| 第 4 週 | Chapter 4. Stress in Thin Films |
| 第 5 週 | Chapter 5. Surface Kinetic Processes |
| 第 6 週 | Chapter 6. Homoepitaxy:Si and GaAs |
| 第 7 週 | Chapter 7. Solid Phase Amorphization,Crystallization and Epitaxy |
| 第 8 週 | Chapter 8. Inter diffusion |
| 第 9 週 | Chapter 9. Thin Film Reactions |
| 第 10 週 | Chapter 10. Morphological Changes in Thin Films |
教科書
Textbook : Electronic Thin Film Science for Electrical Engineers and Materials Scientists
Office Hours
- 地點
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- 時間
- 教師未提供此項資料
- 聯絡方式
- 03-5712121 ext:31879