半導體與顯示器-進階科技技術
Advanced Technologies of Semiconductor and Display
學期
108-2
學分
0
學分
當期課號
5341
永久課號
IMA5309
開課單位
材料科學與工程學系
授課教師
王寶琪
校區
光復
類別
選修
上課時間表
| 節 | 週三 |
|---|---|
7 15:30–16:20 | 半導體與顯示器-進階科技技術 EF104（光復） 3 節連堂 |
8 16:30–17:20 | |
9 17:30–18:20 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
概述
Fundamental and advanced knowledges/technologies of Semiconductor and Display: Semiconductor - Below N16 FEOL, MEOL and BEOL integrated schemes. - Process and hardware of FEP, Implant, Etch, DSM, CMP, DSM (CVD), MDP (PVD) and Lithography product. - Process flow of Foundry and DRAM. Display: - What is TFT LCD, Advanced OLED, Micro-LED and Quantum Dot (QD)? - CVD and PVD of TFT LCD
先修科目
With the capabilities of knowing Semiconductor and Display are preferred.
備註
無備註
教學方式
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評分方式
1.學期作業、考試、評量 Mid-Term Exam x1; Final Exam x1 2.教學方法及教學相關配合事項(如助教、網站或圖書及資料庫等) 助教 x 2
課程大綱
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週次計畫
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | 課程簡介 |
| 第 2 週 | 1.應材-半導體與顯示器產品概述 2.電子元件物理 |
| 第 3 週 | 1.Shaping the future. 2.Display Industury and Marketing Overview |
| 第 4 週 | Process flow if Semiconductor:Foundry |
| 第 5 週 | Process flow if Semiconductor:DRAM |
| 第 6 週 | 前段製程及鰭式電晶體簡介 |
| 第 7 週 | 金屬化製程簡介 |
| 第 8 週 | 蝕刻製程技術及產品 |
| 第 9 週 | 離子植入製程技術與產品 |
| 第 10 週 | Mid-term Exam |
| 第 11 週 | AMAT Globaal Technology Learning Center(GTLC) Lab Touring |
| 第 12 週 | 製程診斷與控制技術及產品 |
| 第 13 週 | 平坦化-化學機械研磨 |
| 第 14 週 | 介電質系統與模組技術和產品 |
| 第 15 週 | 封裝製程及設備 |
| 第 16 週 | Advanced OLED and Micro LED |
| 第 17 週 | 顯示器物理氣-化學相沉積及物理沉積技術及產品 |
| 第 18 週 | Final Exam-Poster Exhibition |
教科書
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Office Hours
- 地點
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- 時間
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- 聯絡方式
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