微奈米製造技術
Micro-nano fabrication technology
學期
109-2
學分
0
學分
當期課號
B869
永久課號
A8876
開課單位
生醫光電研究所
授課教師
董奕鍾
校區
陽明
類別
選修
上課時間表
| 節 | 週二 |
|---|---|
3 10:10–11:00 | 微奈米製造技術 YK533（陽明） 2 節連堂 |
4 11:10–12:00 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
概述
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先修科目
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備註
無備註
教學方式
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評分方式
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課程大綱
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週次計畫
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | 1.微奈米製程簡介 – 微奈米製程之過去與未來 |
| 第 2 週 | 2.微奈米製造材料介紹與氧化製程 |
| 第 3 週 | 3.光學微影技術 (一) |
| 第 4 週 | 4.光學微影技術 (二) |
| 第 5 週 | 5.沈積技術 – 化學方式 |
| 第 6 週 | 6.沈積技術 – 物理方式 |
| 第 7 週 | 校際活動 |
| 第 8 週 | 7.蝕刻技術 |
| 第 9 週 | 8.期中考 |
| 第 10 週 | 9.討論與複習 |
| 第 11 週 | 10.軟式微影技術及其應用 (一) |
| 第 12 週 | 11.軟式微影技術及其應用 (二) |
| 第 13 週 | 12.製程檢測技術介紹 |
| 第 14 週 | 13.製程整合與元件應用 |
| 第 15 週 | 14.生醫元件製造與應用 (一) |
| 第 16 週 | 15.生醫元件製造與應用 (二) |
| 第 17 週 | 16.期末考 |
| 第 18 週 |
教科書
教科書名:The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication 作 者:Stephen A. Campbell 出 版 社:Oxford University Press
Office Hours
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