微機電系統技術導論
Introduction to Micro Electro Mechanical Systems
學期
113-1
學分
0
學分
當期課號
535304
永久課號
EECN30077
開課單位
電控工程研究所
授課教師
邱俊誠
校區
光復
類別
選修
上課時間表
| 節 | 週三 |
|---|---|
2 09:00–09:50 | 微機電系統技術導論 EE208（光復） 3 節連堂 |
3 10:10–11:00 | |
4 11:10–12:00 |
* 根據陽明交大上課時間表所列
概述
課程概述與目標:本課程介紹微機電系統發展過程/沿革並說明其相關製程技術、設計、原理及應用。目標為:1. 研習微機電系統應用領域、2.了解微微製造中使用的各項技術、3. 有能力分析問題,並進行應用延伸。
先修科目
無
備註
無備註
教學方式
教師未提供此項資料
評分方式
• 作業作業: 20% • 期中考: 30% • 期末考: 40% • 出席率: 10%
課程大綱
教師未提供此項資料
週次計畫
| 週次 | 主題 |
|---|---|
| 第 1 週 | 課程大綱及微機電市場生態 |
| 第 2 週 | 微機電系統沿革、製造、應用及挑戰 |
| 第 3 週 | 使用材料及基本微製造技術 |
| 第 4 週 | Surface製造技術 |
| 第 5 週 | Bulk製造技術與非傳統製造流程 |
| 第 6 週 | 半導體IC製造之CMP與黏合技術 |
| 第 7 週 | 代工服務 I: MUMPs |
| 第 8 週 | 期中考 |
| 第 9 週 | 代工服務 II: CMOS-MEMS |
| 第 10 週 | 感測器與致動器:電容式(I) |
| 第 11 週 | 感測器與致動器:電容式(II) |
| 第 12 週 | 感測器與致動器:電熱式 |
| 第 13 週 | 感測器與致動器:電磁式與RF-MEMS |
| 第 14 週 | 模擬軟體教學 |
| 第 15 週 | 微流體系統 |
| 第 16 週 | 期末考 |
教科書
1. Foundations of MEMS, Chang Liu, Pearson Edu. 2007. 2. A Short Introduction to MEMS, Franck CHOLLET, Haobing LIU, memscyclopedia.org , 2014
Office Hours
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